制备条件和退火处理对Fex/(In2O3)1-x颗粒膜结构、磁性及巨磁电阻的影响

• 作者: 刘宜华 张林 张汝贞 梅良模 王军华 黄宝歆
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构 超顺磁性 巨磁电阻 Fe-In2O3颗粒膜
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 642-644
• 页数: 3页
• 分类号: TG132
• 字数: 3375字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.06.012

摘要

用射频溅射法成功制备了金属/半导体型颗粒膜Fex(In2O3)1-x.实验结果表明样品的微结构、磁性和巨磁电阻效应受制备条件(如本底真空度、衬底温度、溅射电压等)以及热退火处理的强烈影响.较高的衬底温度有利于基体In2O3的晶化和Fe颗粒的成长.适当的热退火能促使Fe颗粒生长,使晶格畸变减小,从而改善膜的微结构.室温下,磁性测量表明样品具有超顺磁性,符合朗之万方程.高温退火后,颗粒的大小已超过单畴粒子的临界尺寸,引起矫顽力下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘宜华	山东大学物理与微电子学院	39	186	7.0	11.0
2	张汝贞	山东大学物理与微电子学院	18	94	6.0	8.0
3	张林	山东大学物理与微电子学院	45	159	7.0	10.0
4	梅良模	山东大学物理与微电子学院	62	303	10.0	13.0
5	黄宝歆	山东大学物理与微电子学院	17	81	6.0	8.0
6	王军华	山东大学物理与微电子学院	7	65	3.0	7.0