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砷化镓芯片生产项目污染源分析及治理措施研究
砷化镓
芯片
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污染防治
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产业布局
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省政府
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半导体桥
瞎火
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 砷化镓芯片生产线--半导体产业布局中的新亮点
来源期刊 半导体技术 学科
关键词
年,卷(期) 2003,(4) 所属期刊栏目 趋势与展望
研究方向 页码范围 19-20
页数 2页 分类号
字数 3105字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.04.015
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
月刊
1003-353X
13-1109/TN
大16开
石家庄179信箱46分箱
18-65
1976
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
总被引数(次)
24788
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