用于射频无线通信的MEMS器件

• 作者: 鞠挥
• 来源期刊: 光机电信息
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳科学与技术
• 页码范围: 9-15
• 页数: 7页
• 分类号: TN91
• 字数: 7588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1180.2003.06.002

摘要

无线通信的发展已成为推动半导体工业发展的真正动力,许多半导体公司为了在这一领域占有一席之地正大力开发微电机械系统(MEMS).实现目标的途径之一是设计出可集成无源器件的方法,这些器件占当今无线手机中所用器件的70%.研究人员目前正努力开发芯片集成技术,MEMS技术便是其中的重要组成部分.MEMS已用于开关、滤波器、局域振荡器、可调电容器及高品质因数电感线圈等.制作这些器件的光刻条件与那些标准的在极端复杂的表面上进行的半导体制造工艺大相径庭.本文讨论了制作这些器件的难点以及一些经证明可以满足要求的制作方法.