LIGA相关技术及应用

• 作者: 丁桂甫 张永华 彭军 蔡炳初
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 三维微细加工 LIGA技术 准LIGA技术
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 60-64
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 4426字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.03.021

摘要

微电子机械系统(MEMS)技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应用,推动了能实现高深宽比三维微细加工的LIGA及准LIGA技术的迅速发展.介绍了LIGA相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上的一些应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院	49	769	15.0	26.0
2	丁桂甫	上海交通大学微纳米科学技术研究院	60	503	12.0	19.0
3	张永华	上海交通大学微纳米科学技术研究院	17	231	8.0	15.0
4	彭军	西安电子科技大学微电子研究所	10	97	3.0	9.0