具有90nm调谐范围的1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器

• 作者: 余金中 姜磊 左玉华 成步文 朱家廉 李传波 毛容伟 王启明 王良臣 白云霞 罗丽萍 蔡晓 马朝华 高俊华 黄昌俊
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS 可调谐滤波器 Fabry-Perot 表面微机械技术
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1140-1144
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.11.004

摘要

利用表面微机械技术,成功制作了1.3μm Si基MOEMS可调谐光滤波器.原型器件在50V的调谐电压下,调谐范围为90nm.该技术可以用于制作1.3μm Si基可调谐光探测器.