三平板剪切干涉仪自动测试系统

• 作者: 何勇 吴桢 王青 陈进榜
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 剪切干涉仪 波面复原 波面拟合
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 226-228,232
• 页数: 4页
• 分类号: O435.2|TH744.3
• 字数: 2412字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2003.03.032

摘要

三平板剪切干涉仪是环路剪仪中最简单的一种，它具有基本等光程、剪切量连续可调、两出身光束恒相互平等等特点。利用三平板剪切干涉仪对激光器出射波面质量进行检测，探讨了由剪切干涉图复原原始波面的1阶微分法，编制了专家辅助软件系统，为光机型的三科板剪切干涉仪配置了实时图像采集、处理系统、实现了光、机、电、算相结合，融硬、软件于一体的数字波面剪切干涉仪，并通过实验验证了方法的重复性精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何勇	南京理工大学电光学院	131	768	13.0	20.0
2	陈进榜	南京理工大学电光学院	29	291	11.0	15.0
3	王青	南京理工大学电光学院	39	323	10.0	16.0
4	吴桢	南京理工大学电光学院	1	13	1.0	1.0