晶体生长控制中的高分辨力称重系统

• 作者: 李艳杰 耀飞黔
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 传感器 分辨力 信号调理
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 实用技术
• 页码范围: 53-54,57
• 页数: 3页
• 分类号: TP216
• 字数: 2218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.01.017

摘要

论述了晶体生长控制中高分辨力称重系统的实现技术.重点介绍了传感器的选型方法和信号调理电路的设计技术.系统达到了二十万分之一的有效分辨力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳杰		1	12	1.0	1.0