氮化铝薄膜织构的极图法研究

• 作者: 李佐宜 武海顺 段静芳 许小红 马文瑾
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝薄膜 极图 织构
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 490-494
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 2036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2003.02.039

摘要

在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AlN薄膜以(002)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AlN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AlN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许小红	华中科技大学电子科学与技术系	52	298	10.0	13.0
3	武海顺	山西师范大学化学与材料科学学院	126	524	11.0	16.0
4	马文瑾	山西师范大学化学与材料科学学院	27	85	6.0	7.0
5	李佐宜	华中科技大学电子科学与技术系	59	267	7.0	13.0
6	段静芳	山西师范大学化学与材料科学学院	7	46	4.0	6.0