制造玻璃微流控芯片的简易加工技术

• 作者: 方肇伦 殷学锋 沈宏
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 微流控芯片 微加工技术 掩模 湿法刻蚀 键合
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 仪器装置与实验技术
• 页码范围: 116-119
• 页数: 4页
• 分类号: O65
• 字数: 2771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3820.2003.01.028

摘要

报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法.用Adobe Illustrator 8.0软件设计微流控芯片图形, 通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模. 用商品匀胶铬板表面的145 nm Cr/570 nm Az-1805光胶层作为保护层,在50℃刻蚀液(1 mol/L HF+1 mol/L NaF)中, 刻蚀速度为2 μm/min.通过彻底洗净加工好的玻璃基片, 提高了芯片热键合的质量和成品率. 制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷学锋	浙江大学化学系微分析系统研究所	38	605	14.0	24.0
2	方肇伦	浙江大学化学系微分析系统研究所	29	547	11.0	23.0
3	沈宏	浙江大学化学系微分析系统研究所	49	289	9.0	16.0