铝金属基板的制备及性能

• 作者: 穆道斌 金莹 马莒生
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 金属材料 铝基板 氧化膜层 封孔处理
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 335-338
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.2+1
• 字数: 2572字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2003.03.005

摘要

利用阳极氧化方法研制了应用于高密度封装中的铝金属基板.对其性能进行了测量.结果表明,在草酸电解液中获得的阳极氧化铝基板的膜层具有良好的电阻率,可达到1×1014～1×1015Ω@cm数量级.其介电常数低于10,随氧化膜层厚度增加而减小.对膜层进行的后续封孔处理提高了膜层的绝缘性能及耐蚀性.提高成膜温度有利于改善阳极氧化铝基板的耐热震性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马莒生	清华大学材料系	58	894	16.0	29.0
2	穆道斌	北京科技大学材料科学与工程学院	3	34	2.0	3.0
3	金莹	松下研发有限公司(中国)先端移动通信实验室	1	20	1.0	1.0