CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用

• 作者: 郭江
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 微机电系统 选择生长
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 349-351
• 页数: 3页
• 分类号: O484.42
• 字数: 2772字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2003.03.040

摘要

金刚石薄膜由于其独特的物理、化学和电学等特性,使其作为在极具发展潜力的MEMS中一种理想的材料,越来越得到人们的重视.此外近来各种金刚石薄膜的合成和加工方法已不断发展,使金刚石薄膜MEMS已逐步从原理的证明转向了实际的应用.本文简述了金刚石膜在MEMS中应用的技术基础及其在MEMS中应用的最新进展,着重介绍了金刚石喷嘴在生物芯片中的应用;半导体金刚石探针(既可用作隧道扫描显微镜探针又可作为一种抛光表面的微型工具);世界上最微型的金刚石外科手术刀及微型电夹.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭江	成都理工大学信息工程学院	10	51	4.0	7.0