超高级别微电子洁净厂房的测试

• 作者: 刘俊杰 朱能 高志红
• 来源期刊: 暖通空调
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净室 微电子厂房 测试
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流园地
• 页码范围: 97-98
• 页数: 2页
• 分类号: TU83
• 字数: 1993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8501.2003.03.029

摘要

指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要.介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准,并对某0.1μm 1级洁净厂房作了实际测试,给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱能		102	1240	21.0	30.0
2	刘俊杰		89	717	14.0	21.0
3	高志红		2	8	2.0	2.0