磁控溅射AuNi5的热处理

• 作者: 何毅 余前春 刘凤龙 张晓辉 江轩 范金铎
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 热处理 结合强度 互扩散
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 135-138
• 页数: 4页
• 分类号: TB331
• 字数: 1540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.033

摘要

采用磁控溅射方法制备了AuNi5/Ni两层复合材料中的AuNi5膜层, 并对样品进行退火处理. 应用金相显微分析、划痕法和SEM, 研究了AuNi5膜层的结构及性能特点. 经退火后, 分析了AuNi5膜层与Ni基体层间的元素互扩散、结合强度及应力与热处理工艺的关系. Ni层的处理和表面状态对AuNi5膜层和Ni金属层间的结合强度有重要的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余前春		3	0	0.0	0.0
2	范金铎		5	13	2.0	3.0
3	何毅		3	3	1.0	1.0
4	江轩		3	3	1.0	1.0
5	刘凤龙		2	0	0.0	0.0
6	张晓辉		2	10	1.0	2.0