纳米Al2O3颗粒的制备及其悬浮液的分散稳定

• 作者: 宋晓岚 曲选辉 杨振华 邱冠周
• 来源期刊: 中南工业大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 纳米Al2O3 CMP 分散剂 分散稳定性
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 材料·冶金·化学
• 页码范围: 484-488
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 3285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2003.05.005

摘要

以异丙醇铝为原料,甲苯为溶剂,氨水为pH值调节剂,采用溶胶-凝胶法制备了含有α和θ2种晶型的高纯纳米Al2O3颗粒.产物经XRD,TEM以及BET测定和杂质含量分析,研究了不同pH值、分散剂种类及其用量对Al2O3悬浮液分散稳定性的影响.研究结果表明:产物的主晶相是θ,次晶相是α;Al2O3颗粒粒径为10～20 nm,粒子呈球形或类球形,粒子尺寸分布较均匀,比表面积为82.31 m2/g;纯度≥99.95%;配制稳定的Al2O3CMP浆料的合适工艺条件为:在Al2O3固含量为6%的浆料中,加入质量分数为10%的H2O2作为氧化剂,体积分数为0.99%的异丙醇胺作为分散剂,同时将浆料的pH值控制在3～4,能得到长时间不沉降的稳定浆料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋晓岚	中南大学资源加工与生物工程学院	75	1681	20.0	39.0
2	邱冠周	中南大学资源加工与生物工程学院	335	5466	36.0	53.0
3	曲选辉	北京科技大学材料科学与工程学院	389	3554	28.0	36.0
4	杨振华	中南大学资源加工与生物工程学院	9	244	8.0	9.0