MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展

• 作者: 姜岩峰 黄庆安
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 在线测量 机械参数 悬臂梁
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 34-39
• 页数: 6页
• 分类号: TP206.1
• 字数: 6194字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.04.009

摘要

对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述.首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重点介绍,包括其研究发展的历史、现状、发展趋势、分析模型和新近取得的主要进展等.最后对在线测量微结构机械参数的方法进行了总结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄庆安	东南大学电子工程系微机电系统教育部重点实验室	35	415	12.0	19.0
2	姜岩峰	北方工业大学信息工程学院微电子中心	44	285	7.0	15.0