电弧离子镀(Ti,Al)N复合薄膜的结构和性能研究

• 作者: 孙超 宫骏 李明升 王福会 王铁钢 闻立时
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 (Ti Al)N薄膜 结构变化 力学性能
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 55-60
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3348字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2003.01.013

摘要

利用电弧离子镀设备在1Cr11Ni2W2MoV不锈钢基体表面沉积了不同成分的(Ti1-xAlx)N薄膜;X射线衍射分析表明,x在0-0.5之间时,薄膜是B1型(NaCl)单相结构;x=0.64时,同时出现B1和B4型(ZnS)两种相结构,x≥0.79时,只出现B4型结构;随着Al含量的增加,晶格常数减小,B1结构的薄膜择优取向由(111)向(220)转变.力学性能测试表明,适当Al含量可以提高薄膜的硬度、膜基结合强度及抗磨损性能;B1结构(Ti,Al)N薄膜的氧化实验表明,随着Al含量的增加,薄膜抗氧化性能显著提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王福会	中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室	185	3078	28.0	48.0
2	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
3	宫骏	中国科学院金属研究所	52	464	12.0	20.0
4	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
5	王铁钢	中国科学院金属研究所	4	117	4.0	4.0
6	李明升	中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护国家重点实验室	3	113	3.0	3.0