PWM数字微型加速度计摆片温度应力研究

• 作者: 田文超 贾建援
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微型加速度计 温度应力
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2323字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.02.006

摘要

针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状态,在某些加工温差段,摆片的刚度出现奇异值,摆片变形已不再满足小变形条件,导致摆片无法正常工作.本文亦提出了改善措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援	西安电子科技大学机电工程学院	174	1783	17.0	35.0
2	田文超	西安电子科技大学机电工程学院	47	271	10.0	13.0