μTM技术在MEMS工艺中的应用

• 作者: 李金 樊华 郑小林 陈默
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 软光刻技术 微传递成模 Scottky二极管阵列
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.11.007

摘要

介绍了软光刻技术中的一项关键技术--微传递成模(μTM),阐述了其特点、不足及其基本的工艺流程.最后通过介绍其在加工Scottky二极管阵列和光波导耦合腔中的应用,说明μTM在微加工技术中具有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李金		1	3	1.0	1.0