阵列式微机械悬臂梁的研制及其特性分析

• 作者: 于晓梅 张大成 李婷 杜先锋 王小宝 阮勇
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 悬臂梁 噪声 灵敏度 最小可探测位移
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 861-865
• 页数: 5页
• 分类号: TH742
• 字数: 3985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.08.017

摘要

在一个芯片上设计了六组不同规格的矩形压阻悬臂梁.采用ANSYS有限元分析系统对微压阻悬臂梁进行应力分析,并对压阻悬臂梁的噪声、灵敏度以及最小可探测位移进行了研究.选用多晶硅为压阻材料,以硅微机械加工技术为基础,完成了阵列式压阻悬臂梁的制备.通过测量器件的噪声和灵敏度,计算出在6V偏压和1000Hz测量带宽下,多晶硅悬臂梁的最小可探测位移为1nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大成	北京大学微电子学研究院	43	793	13.0	27.0
2	李婷	北京大学微电子学研究院	44	616	13.0	23.0
3	于晓梅	北京大学微电子学研究院	11	65	5.0	8.0
4	王小宝	北京大学微电子学研究院	1	12	1.0	1.0
5	阮勇	北京大学微电子学研究院	6	52	3.0	6.0
6	杜先锋	北京大学微电子学研究院	2	34	2.0	2.0