蓝宝石衬底的ECR等离子体清洗与氮化的RHEED研究

• 作者: 徐茵 杨大智 秦福文 顾彪
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 清洗 氮化 RHEED GaN
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 668-672
• 页数: 5页
• 分类号: TN312.8
• 字数: 3237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.06.020

摘要

通过分析RHEED(反射高能电子衍射)图像研究了ECR(电子回旋共振)等离子体所产生的活性氢源和氮源对蓝宝石衬底的清洗与氮化作用,结果表明:在ECR氢等离子体中掺入少量的氮气可以明显提高蓝宝石衬底的清洗效果,从而获得平整而洁净的衬底表面;而采用ECR氮等离子体对经过氢氮混合等离子体清洗20min后的蓝宝石衬底进行氮化,能观测到最清晰的氮化铝成核层的RHEED条纹,且生长的GaN缓冲层质量是最好的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦福文	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	40	235	8.0	14.0
5	顾彪	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	41	363	12.0	18.0
9	徐茵	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	26	207	8.0	13.0
13	杨大智	大连理工大学材料工程系	84	1226	20.0	31.0