微型器件的自装配技术

• 作者: 夏善红 邓凯
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 自组装 微机电系统 毛细作用
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.01.007

摘要

自组装技术起源于生物化学领域.20世纪90年代以来,这种新型的装配技术得到了关注并且经历了较快的发展,同时在微机电系统(MEMS)等研究领域显示了潜在的应用前景.本文阐述了自组装技术的发展,介绍了多种自组装方法,包括利用毛细力、重力以及亲水(疏水)力作为驱动的多种自组装过程,着重总结了自组装技术在MEMS领域的应用.