微型硅加速度传感器

• 作者: 单光宝 李兴凯 王永录
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微型硅加速度传感器 工作原理 封装 测试 武器
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 分类号: TP212.1

摘要

介绍微型硅加速度传感器的研制概况，阐述微型硅电容式加速度传感器的工作原理、制作工艺技术，并对封装后的测试结果进行分析与探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	单光宝		14	37	3.0	6.0
2	李兴凯		3	2	1.0	1.0
3	王永录		2	0	0.0	0.0