射频CO2激光陶瓷基板划片机

• 作者: 侯廉平 陈清明 陈陪峰
• 来源期刊: 佛山陶瓷
• 关键词: 陶瓷基板,激光划片,RF CO2激光器
• 年，卷（期）: 2003,（10）
• 所属期刊栏目: 机械与设备
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8236.2003.10.012

摘要

介绍了RFCO2激光器及其陶瓷基板划片的特点;分析了RFCO2激光陶瓷基板划片的机理,给出了整机总体设计方案.对导光系统的激光束进行了模拟,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图,整机性能指标达到国外进口机的水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈清明	华中科技大学激光工程研究院	16	155	6.0	12.0
5	侯廉平	华中科技大学激光工程研究院	6	14	2.0	3.0
9	陈陪峰	华中科技大学激光工程研究院	4	8	2.0	2.0