Si3N4微尺度薄膜的热物性

• 作者: 夏善红 宋青林 张建刚 陈绍凤
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热物性 热容 悬膜
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.010

摘要

Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜,并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
3	宋青林	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	8	76	4.0	8.0
4	张建刚	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	30	279	7.0	16.0