莫尔条纹信号在精密检测与定位中的应用

• 作者: 刘京南 张金龙
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 莫尔信号 差动技术 精密定位 工业控制计算机
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 数据采集与处理
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TM930.9
• 字数: 1050字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2003.06.003

摘要

介绍了一种基于莫尔条纹信号的精密检测定位系统.系统以工业控制计算机为核心,采用差动莫尔技术,进行高精度检测及自动定位,具有抗干扰能力强,检测灵敏度高等特点.实验结果表明精密定位装置可达±0.1 μm的定位精度,对集成电路制造技术等精密加工工程领域具有重要的实用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张金龙	东南大学自动控制系	13	97	6.0	9.0
2	刘京南	东南大学自动控制系	49	580	11.0	23.0