高能量密度脉冲等离子体制备的氮化钛刀具涂层的微观结构与力学性能

• 作者: 刘赤子 彭志坚 杨思泽 苗赫濯 齐龙浩 龚江宏
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 工学
• 关键词: 高能量密度脉冲等离子 TiN涂层 硬质合金 刀具 微观结构 力学性能
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 简报
• 页码范围: 900-904
• 页数: 5页
• 分类号: TG7
• 字数: 3269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2003.09.005

摘要

室温下用高能量密度脉冲等离子体在硬质合金刀具上成功淀积了硬度高、耐磨损、膜基结合良好的氮化钛涂层. 俄歇分析表明, 薄膜与基体间界面大于250 nm; 涂层与基体的结合良好, 纳米划痕实验临界载荷达90 mN以上. 纳米压痕实验表明, 氮化钛涂层具有很高的硬度和杨氏模量, 分别达27 Gpa 和450 Gpa以上. 涂层刀具切削实验表明, 刀具可用于HRC 高达58～62的CrWMn钢切削, 且磨损量较低, 寿命长. 微观结构分析表明, 高能量密度等离子的注入效应、晶粒细化效应等对薄膜硬度、杨氏模量、膜基结合力和抗磨损性能等物理性能的改善起主导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘赤子	中国科学院物理研究所	12	170	8.0	12.0
2	杨思泽	中国科学院物理研究所	34	349	11.0	17.0
3	苗赫濯	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	69	997	20.0	27.0
4	龚江宏	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	21	197	8.0	13.0
5	齐龙浩	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	31	399	12.0	19.0
6	彭志坚	清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	11	126	8.0	11.0