低频机械谱术测量薄膜切变模量及微量油膜探测

• 作者: L.B.Magalas 方前锋
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: 内耗 机械波谱学 切变模量 薄膜 油膜
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 页码范围: 1228-1232
• 页数: 5页
• 分类号: TG113.22
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2003.11.029

摘要

描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理.主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法:第一种方法,用于测量沉积在钼丝上的TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗;第二种方法,用于探测钢片表面微量油膜的存在.尽管这两种技术有着各自不同的应用目的及对象,但它们均源自能够导致机械能损耗的表面效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方前锋	中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室	51	197	8.0	12.0