F-I类比方法及MEMS梁的等效电路宏模型

• 作者: 戎华 李伟华 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 等效电路宏模型 F-I类比 模态分析 拉格朗日方程
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 528-533
• 页数: 6页
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.05.016

摘要

建立了一种基于力-电流(F-I)类比、适用于梁结构机电耦合系统小信号时域及频域分析的等效电路宏模型,与已有的基于力-电压(F-V)类比的等效电路宏模型相比,基于F-I类比的等效电路宏模型的电网络与原来的机械网络具有相同的拓扑结构,因此,基于F-I类比的等效电路宏模型能为复杂机电系统等效电路宏模型的建立带来很大的方便.模拟结果表明该模型具有较高的精度.