用复阻抗法分析纳米钛酸钡湿敏元件感湿机理

• 作者: 万徽 宝晓鹏 王兢
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿敏元件 感湿机理 复阻抗法 等效电路
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 78-80
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2182字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.09.028

摘要

用复阻抗方法对硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理进行了分析.实验测量了湿敏元件在不同相对湿度下的复阻抗特性曲线及阻抗、电容等参数随频率的变化曲线.分析出相应的等效电路,推导了等效电路有关参数,分析讨论了纳米钛酸钡湿敏元件的感湿机理.低湿时,感湿材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水分子共同起作用;高湿时,吸附的水分子电离和极化起主要作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兢	大连理工大学电信学院	81	398	9.0	14.0
2	万徽	大连理工大学电信学院	2	12	2.0	2.0
3	宝晓鹏	大连理工大学电信学院	1	7	1.0	1.0