溅射Au对SnO2/Fe2O3薄膜气敏特性的影响

• 作者: 肖智博 阎大卫 马晓翠
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2/Fe2O3双层薄膜 气体传感器 溅射 表面修饰
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|TP212
• 字数: 2638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.06.002

摘要

通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au-SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测.结果表明,Au的催化作用使Au-SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60 ℃.这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	阎大卫	吉林大学电子工程学院	4	6	2.0	2.0
2	肖智博	吉林大学电子工程学院	1	3	1.0	1.0