两端固支多层梁吸合电压的解析模型

• 作者: 戎华 李伟华 聂萌 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 两端固支多层梁 能量法 挠度 吸合
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1185-1189
• 页数: 5页
• 分类号: TN401|TN402
• 字数: 2057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.11.013

摘要

运用能量法分析了两端固支多层梁在静电作用下的弯曲情况及发生吸合现象时,梁中央的归一化位移β和对应的吸合电压VPI,得到了β和VPI的解析表达式.用Coventor软件中的CoSolveEM模块进行了模拟,结果表明该解析模型具有较高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	聂萌	合肥工业大学理学院	2	20	2.0	2.0