椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理

• 作者: 刘卓建 唐振方
• 来源期刊: 自动化仪表
• 学科: 工学
• 关键词: 厚度计 椭偏法 数据处理 程序设计
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 产品与应用
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TP27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0380.2003.11.010

摘要

介绍利用椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法.采用数字迭代计算方法,由测量得到的起偏角和检偏角可直接算出所测薄膜的折射率和厚度.经过数值试验及与标准值比对,由此编制的计算程序具有准确、快速、方便的特点.经实际使用,计算出的厚度值误差较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐振方	暨南大学物理系	48	418	11.0	18.0
2	刘卓建	暨南大学物理系	1	6	1.0	1.0