半导体制造车间设施规划浅析

• 作者: 俞静 邵志芳 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 设施规划 半导体制造车间 优化配置
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 集成电路制造技术
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3482字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.06.007

摘要

在半导体制造业中,由于其设备的昂贵性、敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局一般不可以轻易更改.设计不周的不良布局将会导致庞大的物料搬运成本,无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本.因此,工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题之一.本文依据设施规划的原则对半导体车间的最新布局方式作了系统的阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱省三	上海理工大学微电子发展研究中心	182	2387	26.0	41.0
2	邵志芳	上海理工大学微电子发展研究中心	4	47	2.0	4.0
3	俞静	上海理工大学微电子发展研究中心	1	26	1.0	1.0