压阻式硅微加速度计的研制

• 作者: 侯占民 吴亚林 张精华 王伟 田雷 迟晓珠
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微加速度计 压阻式 MEMS 等离子体刻蚀
• 年，卷（期）: 2003,（12）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1431字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.12.013

摘要

介绍压阻式硅微加速度计的结构设计.采用等离子体刻蚀技术制作成硅微加速度计.该技术具有腐蚀深宽比高、掩模选择性好的特点,适用于微机械器件的制作.通过测试,加速度计的非线性达到0.2%.讨论了影响加速度计灵敏度的结构因素和工艺因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	中国电子科技集团公司第四十九研究所	102	238	8.0	12.0
2	张精华	中国电子科技集团公司第四十九研究所	2	13	2.0	2.0
3	迟晓珠	中国电子科技集团公司第四十九研究所	5	41	3.0	5.0
4	田雷	中国电子科技集团公司第四十九研究所	15	52	5.0	6.0
5	侯占民	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	39	2.0	4.0
6	吴亚林	中国电子科技集团公司第四十九研究所	6	19	2.0	4.0