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摘要:
【正】 Y2002-63302-144 0304962采用扩展电阻探针测量的金属感应横向晶体化区域的电特性=Direct electrical characterization of metal-in-duced-lateral-crystallization regions by spreading resis-tance probe measurements[会,英]/Leung,T.C.&Cheng,C.F.//2001 IEEE Hong Kong Electron DevicesMeeting.—144~147(E)
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篇名 其它材料
来源期刊 电子科技文摘 学科 工学
关键词 扩展电阻 电特性 金属感 Electron 晶体化 SPREADING 类金刚石膜 界面层 高能球磨 聚合物薄膜
年,卷(期) 2003,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 8-9
页数 2页 分类号 TM934.1
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期刊影响力
电子科技文摘
月刊
1009-0851
11-4388/TN
16开
1999
chi
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10413
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71
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