先进IC制造技术在超精密加工中的应用与发展

• 作者: 张建民 李辉
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 超精密加工技术 微电子加工 光刻技术
• 年，卷（期）: 2003,（11）
• 所属期刊栏目: 机械加工与自动化
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 4452字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2003.11.002

摘要

介绍了集成电路(IC)在超精密加工技术中的发展.分析IC生产基本工艺流程与工艺技术,对影响IC发展的最新的3项关键生产技术进行研究;通过对国内外集成电路(IC)工艺装备的发展趋势进行分析,提出加工特征尺寸0.1～0.07μm的掩膜制造、光刻、刻蚀等关键装备以及芯片材料技术是IC技术创新和IC制造工艺设备的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李辉	北京理工大学机械与车辆工程学院	31	403	11.0	19.0
2	张建民	北京理工大学机械与车辆工程学院	71	873	14.0	27.0