MOCVD设备集散控制系统设计

• 作者: 谢素芬 过润秋
• 来源期刊: 电工技术
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 集散控制系统 组态软件
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 集散控制技术
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: TP27
• 字数: 1597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1388.2003.01.021

摘要

介绍了集散控制MOCVD系统的研究和应用.该设备是生长半导体材料GaN的关键设备.文中重点探讨了用PLC实现该设备的控制系统,并给出了硬件设计和工控软件的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	过润秋	西安电子科技大学电子机械学院	31	374	11.0	18.0
2	谢素芬	西安电子科技大学电子机械学院	2	20	2.0	2.0