多孔β-SiC薄膜的蓝光发射

• 作者: 叶凡 张志敏 林洪峰 谢二庆 贺德衍 马紫微
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学腐蚀 多孔SiC薄膜 蓝光发射 PL SEM
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 942-945
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+4
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.09.010

摘要

通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了β-SiC薄膜,用HF酸(40%)和C2H5OH(99%)的混合溶液对β-SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理,形成了多孔β-SiC(PSC)薄膜.利用荧光分光光度计研究了样品的光致发光(PL)特性,用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了样品腐蚀前后的表面形貌.结果表明:多孔β-SiC薄膜具有较强的蓝光发射特性;通过改变腐蚀时间,可以改变蓝光发射的强度,也可以观察到蓝光-红光同时发射的现象;降低HF酸的浓度,蓝光发射峰明显变弱,并对多孔β-SiC薄膜的发光机理及其微观结构进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢二庆	兰州大学物理科学与技术学院	84	371	11.0	14.0
2	张志敏	兰州大学物理科学与技术学院	2	25	2.0	2.0
3	贺德衍	兰州大学物理科学与技术学院	68	559	13.0	19.0
4	叶凡	兰州大学物理科学与技术学院	6	21	2.0	4.0
5	马紫微	兰州大学物理科学与技术学院	4	53	4.0	4.0
6	林洪峰	兰州大学物理科学与技术学院	9	79	5.0	8.0