微纳米薄膜的悬浮腐蚀法

• 作者: 夏善红 宋青林 张建刚 陈绍凤
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 悬浮 薄膜 腐蚀
• 年，卷（期）: 2003,（z1）
• 页码范围: 104-106
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1366字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.z1.023

摘要

介绍了一种腐蚀薄膜的研制方法及其装置.为制备带有各种金属引线及电极的大面积超薄悬浮薄膜(厚度:50～500nm、1～5μm;面积:3mm×2mm、10mm×5mm)提供了一种有效的方法.提高成品率30%,具有装置结构简单、支架体积小、质量轻、易于加工、操作方便、经济耐用、造型可根据器件需要加工设计等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
2	陈绍凤	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	27	268	10.0	15.0
3	宋青林	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	8	76	4.0	8.0
4	张建刚	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	30	279	7.0	16.0