静电键合用微晶玻璃的研究

• 作者: 卢安贤 常鹰
• 来源期刊: 中南工业大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: Li2 O-Al2O3-SiO2系统 微晶玻璃 静电键合
• 年，卷（期）: 2003,（5）
• 所属期刊栏目: 材料·冶金·化学
• 页码范围: 472-475
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.171
• 字数: 2807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7207.2003.05.002

摘要

采用传统熔体冷却方法,研究以TiO2为成核剂、以Li2 O-Al2O3-SiO2为基础组成的玻璃的制备工艺;根据差热分析(DTA)的结果确定玻璃的核化与晶化温度,然后针对基础玻璃组成,采用二步热处理方法获得透明的微晶玻璃;用X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对晶化试样的物相和显微结构进行研究;用热膨胀仪测定玻璃在热处理前、后的热膨胀系数;用绝缘电阻测试仪测试该微晶玻璃的电阻率.研究结果表明:微晶玻璃的主晶相为Al2O3@TiO2微晶体,次晶相为ZnSiO3;微晶玻璃与硅片有相近的热膨胀系数,约为32.5×10-7/℃;微晶玻璃晶化后的电阻率较低,为6.8×1010Ω@cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢安贤	中南大学材料科学与工程学院	79	677	16.0	21.0
2	常鹰	中南大学材料科学与工程学院	7	52	4.0	7.0