半导体器件的发展与固态纳米电子器件研究现状

• 作者: 刘玉岭 张楷亮 王芳
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米电子学 纳米电子器件 单电子器件 量子点
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TN11|TN303
• 字数: 5643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.01.003

摘要

简要回顾了半导体电子器件由真空电子管到固体晶体管,直至纳米电子器件的发展历程.分别比较了不同的半导体电子器件的材料、理论和所采用的制备技术.在此基础上综述了当前较热门的纳米电子学和固态纳米电子器件,并由纳米器件的分类简单介绍了当前固态纳米电子器件的三个部分,即量子点、谐振隧穿器件和单电子晶体管.最后对半导体器件的发展提出了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉岭	河北工业大学微电子技术与材料研究所	263	1540	17.0	22.0
2	张楷亮	河北工业大学微电子技术与材料研究所	20	581	14.0	20.0
3	王芳	天津理工学院光电信息系	9	135	5.0	9.0