电沉积铜层的力学和电学性能的研究

• 作者: 姜力强 李华 林旻 郑精武
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 电沉积铜 硬度 电阻率
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 347-349
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153
• 字数: 2390字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2003.03.008

摘要

通过改变镀铜工艺中的阴极电流密度参数,测定了所获得镀铜层的硬度及电阻率.结果发现,镀铜层的硬度和电阻率开始都随阴极电流密度的增加而增加,当阴极电流密度大到一定程度时,它们的值又都达到平衡;而经过时效处理后,镀铜层的硬度和电阻率随时间的积累均呈减小的趋势,且阴极电流密度越大时所获得的镀铜层的硬度和电阻率随时间变化的斜率就越大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林旻	浙江工业大学材料科学研究所	5	45	3.0	5.0
2	姜力强	浙江工业大学材料科学研究所	47	372	10.0	17.0
3	郑精武	浙江工业大学材料科学研究所	40	330	10.0	16.0
4	李华	浙江工业大学材料科学研究所	22	160	9.0	12.0