射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光

• 作者: 张德恒 王卿璞 薛忠营
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZnO薄膜 射频磁控溅射 Si衬底 光致发光
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 157-161
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 3192字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.02.010

摘要

用射频磁控溅射法在硅衬底上沉积出具有良好的择优取向的多晶ZnO薄膜.在室温下进行光致发光测量,观察到明显的紫光发射(波长为402nm)和弱的紫外光发射 (波长为384nm).紫光发射源于氧空位浅施主能级到价带顶的电子跃迁;紫外光发射则源于导带与价带之间的电子跃迁.随着光激发强度的增加,紫光发射强度超线性增强,且稍有蓝移,而紫外光发光强度则近似线性增加.在氧气中高温退火后,薄膜结晶质量明显提高,紫光发射强度变弱,紫外光发射相对增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛忠营	山东大学物理与微电子学院	5	220	4.0	5.0
2	张德恒	山东大学物理与微电子学院	18	450	12.0	18.0
3	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0