有机硅酸酯薄膜SO2气体传感器

• 作者: 孟声 李丽 武少华 王道 陈霭璠
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 二氧化硫 化学传感器 硅酸酯膜
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 表面与界面工程
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: TQ032
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-1157.2003.01.023

摘要

采用溶胶-凝胶法和自旋涂覆技术在二氧化硅为基材的梳状电极电容器(IDC)上形成有机硅酸酯的气敏涂层.在室温和0.1 kHz、1 kHz、10 kHz频率下测定了该电容器的电容,实验表明其电容的改变值和气氛中二氧化硫(SO2)浓度的变化呈线性关系,亦与测量时使用的频率和气敏涂层的厚度密切相关.在本实验条件下,经有机改性的N,N-二乙基氨丙基三甲氧基硅烷比同类的硅酸酯对SO2有更高的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟声	北京工业大学环境与能源工程学院	21	177	9.0	12.0
2	陈霭璠	北京化工大学理学院	26	198	9.0	12.0
3	王道	北京工业大学环境与能源工程学院	48	460	12.0	19.0
4	武少华	北京工业大学环境与能源工程学院	18	224	9.0	14.0
5	李丽	北京工业大学环境与能源工程学院	20	196	9.0	13.0