热激励硅谐振梁压力传感器闭环数据采集系统

• 作者: 崔大付 范兆岩 陈德勇 高晓童
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅梁 数据采集系统 闭环谐振
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 866-870
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 2812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2003.08.018

摘要

利用正反馈闭环谐振原理,采用偏置交流激振、一倍频拾振的方法,设计了闭环谐振电路和相应的数据采集电路,并对该电路进行了综合调试.实验结果表明,该系统实现了该传感器频率信号的自动跟踪和信号转换,以及快速、准确采集压力数据的功能,采集频率范围为30～100kHz,频率采集精度为±1Hz,温度采集精度为0.03℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	77	974	17.0	27.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	高晓童	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	3	18	2.0	3.0
4	范兆岩	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	2	8	2.0	2.0