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液态光致抗蚀油墨的研究
液态光致抗蚀油墨
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水溶性光致抗蚀剂研究进展
水溶性光致抗蚀剂
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ArF激光光致抗蚀剂的研究进展
ArF激光
光致抗蚀剂
化学增幅
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空蚀机理
抗空蚀性
金属材料
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 光致抗蚀剂研究进展
来源期刊 绿色.时尚(化工之友) 学科 工学
关键词 光致抗蚀剂 研究进展 光化学反应 辅射化学反应
年,卷(期) 2003,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 42-45
页数 4页 分类号 TQ421.4
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研究主题发展历程
节点文献
光致抗蚀剂
研究进展
光化学反应
辅射化学反应
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
化工之友
双月刊
1004-0862
13-1057/TQ
北京市朝阳区农光南里1号龙辉大厦1006
出版文献量(篇)
1462
总下载数(次)
1
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0
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