高选择性常温NH3传感器

• 作者: 孔祥霞 孙良彦 平田光寿
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚苯胺 NH3气体传感器 选择性 常温
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 78-80
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2038字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.08.026

摘要

采用MEMS技术,如KOH腐蚀、光刻、溅射金属等技术,在硅片、玻璃等材料上制得平面式微传感器管芯,此结构具有微型化、低功耗、一致性好、适宜大批量生产的优点.敏感材料的采用不同于传统无机物,而是以苯胺为原料,合成高分子聚合物--聚苯胺,此敏感材料不需要加热源,其电阻在室温下与NH3浓度成一定函数关系,可以测得空气中较低含量的NH3.聚苯胺的另一个显著优点是高选择性,实验表明,高达1000×10-6(气体体积分数)的H2,CH4,CO,C4H10,C2H5OH的灵敏度远低于50×10-6(NH3气体体积分数)的灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔祥霞		1	8	1.0	1.0
2	孙良彦		1	8	1.0	1.0