基于混合式自调整模糊控制的单晶炉提拉速度控制系统

• 作者: 吴俊 胡俊达 赵葵银
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶炉 提拉速度 自调整模糊控制器
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 32-33,62
• 页数: 3页
• 分类号: TP273+.2
• 字数: 931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2003.03.014

摘要

采用自调整因子混合式模糊PID控制方法,对单晶炉的提拉速度进行控制.工程实际运行表明,该方法不仅能够提高系统的鲁棒性,还可以提高系统的动静态性能,获得了满意的控制效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵葵银		68	606	13.0	22.0
2	胡俊达		55	425	11.0	18.0
3	吴俊		17	74	6.0	8.0