中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

• 作者: 何颍玲 尤永禄 张杰 李英骏 淳于书泰 谷渝秋 金春水 陈正林 雷安乐 马月英 黄文忠
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: x射线多层膜反射镜 反射率测量 x射线激光
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 809-812
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2003.04.008

摘要

在"星光-Ⅱ"装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源,以平场光栅谱仪为分光元件进行了28.5nm的Mo/Si多层膜反射镜效率测量.介绍了实验方法,给出了实验结果,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为3.1%和9.6%.