微机械加速度计挠性梁机械刚度的实验研究

• 作者: 李疆 董景新 高钟毓
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械 加速度计 机械刚度 频率响应
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TH145|U666.12+2
• 字数: 3066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2003.09.027

摘要

在使用开环频率响应实验求取微机械加速度计挠性梁机械刚度时,不可避免地受到静电负刚度的影响.通过分析预载电压和扫频信号幅值对静电负刚度的影响,提出了从系统刚度中分离出挠性梁机械刚度的计算方法.通过不同实验条件下得到的实验结果,验证了该方法的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李疆	清华大学精密仪器与机械学系	14	131	8.0	11.0
2	高钟毓	清华大学精密仪器与机械学系	79	637	14.0	21.0
3	董景新	清华大学精密仪器与机械学系	89	741	14.0	20.0